DRK8090 Photoelectric Profiler

Sesebelisoa sena se amohela mokhoa oa ho lekanya o sa amaneng le optical phase-shifting interferometric, ha o senye bokaholimo ba mosebetsi nakong ea ho lekanya, o khona ho lekanya ka potlako litšoantšo tse mahlakore a mararo a holim'a micro-topography ea li-workpieces tse fapaneng, le ho sekaseka le ho bala tekanyo. liphetho.

Tlhaloso ea Sehlahisoa
Likarolo: E loketse ho lekanya bokaholimo ba li-gauge tse fapaneng le likarolo tsa optical; botebo ba reticle ea 'musi le dial; botenya ba ho roala ha sebopeho sa grating groove le sebopeho sa sebopeho sa moeli oa ho roala; bokaholimo ba disk ea makenete (optical) le hlooho ea makenete Tekanyo ea sebopeho; silicon wafer surface roughness le mokhoa oa ho lekanya sebopeho, joalo-joalo.
Ka lebaka la ho nepahala ha tekanyo e phahameng ea sesebelisoa, e na le litšobotsi tsa ho se kopane le tekanyo ea likarolo tse tharo, 'me e amohela taolo ea k'homphieutha le tlhahlobo e potlakileng le ho bala liphetho tsa tekanyo. Sesebediswa sena se loketse maemo ohle a diyuniti tsa dipatlisiso tsa diteko le ditekanyo, diphaposi tsa tekanyo ya dikgwebo tsa indasteri le tsa merafo, dithupelo tsa ho sebetsa ka nepo, hape di loketse Ditheo tsa thuto e phahameng le ditheo tsa dipatlisiso tsa mahlale, jj.
Mekhahlelo ea mantlha ea tekheniki
Tekanyo ea botebo ba ho se lekane ha microscopic
Sebakeng se sa khaotseng, ha ho se na bophahamo bo fetohang ka tšohanyetso bo fetang 1/4 wavelength pakeng tsa lipikselse tse peli tse haufi: 1000-1nm
Ha ho na le phetoho ea bophahamo e kholo ho feta 1/4 ea wavelength pakeng tsa lipikselse tse peli tse haufi: 130-1nm
Ho pheta-pheta ha tekanyo: δRa ≤0.5nm
Ho holisa lense ea sepheo: 40X
Sekoti sa lipalo: Φ 65
Sebaka sa ho sebetsa: 0.5mm
Sebaka sa pono sa lisebelisoa Ponahalo: Φ0.25mm
Senepe: 0.13×0.13mm
Ho hōlisa lisebelisoa tse bonahalang: 500 ×
Senepe (se hlokometsoeng ke skrine ea k'homphieutha) -2500×
Sehlopha sa tekanyo ea moamoheli: 1000X1000
Boholo ba pixel: 5.2×5.2µm
Nako ea ho lekanya nako ea sampuli (ho hlahloba) nako: 1S
Sesebelisoa se tloaelehileng sa seipone se bonahatsang (holimo): ～50%
Pontšo (tlase): ～4%
Mohloli o khanyang: lebone la incandescent 6V 5W
Leqhubu la filthara ea tšitiso e tala: λ≒530nm
Halofo ea bophara λ≒10nm
Phahamiso e ka sehloohong ea microscope: 110 mm
Phahamiso ea tafole: 5 mm
Mefuta e fapaneng ea ho sisinyeha ho X le Y: ～10 mm
Mofuta o potolohang oa mosebetsi o sebetsang: 360 °
Lethathamo la ho sekama la tafole ea ho sebetsa: ± 6°
Sistimi ea komporo: P4, 2.8G kapa ho feta, skrineng se bataletseng sa 17-inch se nang le memori ea 1G kapa ho feta